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Bati UHV (ultra haut vide) - Evaporation par effet Joule

Ce bati permet l'élaboration de couches d'Au granulaires pour l'observation des effets d'exaltations de champ.
Il est composé d'un groupe de pompage, d'éléments chauffant et/ou refroidissant et de contrôles in-situ de l'épaisseur.

Le système de pompage possède 3 niveaux :

- pompe à membrane
- pompe à zéolithe
- pompe ionique à sublimation de titane permettant d'atteindre l'ultra- vide

Le contrôle de l'épaisseur s'effectue à l'aide d'un quartz oscillant étalonné et de l'apparition d'une resistance mesurable à la percolation.

 

 

 

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