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Ellipsometrie spectrosopique in et ex-situ


L’ellipsométrie spectroscopique est une technique optique non destructrice permettant :
- la mesure d’épaisseur d’un matériau
- la mesure d’indice et de coefficient d’absorption
- la détermination de rugosité ou de porosité


Le modèle SE 850 de chez Sentech (distribué en France par la société M.C.S.E ) est un ellipsomètre spectrométrique qui permet la mesure dans l’UV, le visible et le proche infrarouge. Son mode de fonctionnement est basé sur la détection rapide à l’aide d’une barette de photodiode. La mesure des paramètres ellipsométriques tan y et cos D et le logiciel informatique SpectraRay permettent la détermination de nombreux paramètres après la création d’un modèle plus ou moins sophistiqué.


Caractéristiques du Sentech SE 850 :
- domaine des longueurs d’onde : 250 – 850 nm
- vitesse d’acquisition très courte : 180ms
- résolution spectrale de 0.5 nm

L’utilisation de l’ellipsomètre peut se faire dans deux configurations :
- ex-situ : sur une platine goniomètre qui permet la mesure d’échantillons sous différents angles d’incidence (40° à 90° par pas de 5°).

- in-situ : monté sur le bati de dépôt sous vide par la technique d’ablation laser. Cette configuration permet le suivi de croissance d’un dépôt en temps réel, le suivi du refroidissement après un dépôt, l’étude d’un échantillon en température, la mesure d’un échantillon sous un angle d’incidence (62° ou 72° selon le positionnement de l’ellipsomètre sur le bâti). L’installation de l’ellipsomètre sur le bati a nécessité un alignement et une calibration. Le positionnement est délicat compte tenu du fait que le porte échantillon est mobile.


Page crée le 30/09/2003 par Pascal Rocher
Stage de licence professionnelle d'Instrumentation Optique et de Visualisation (LIOVIS) du 10/02/2003 au 30/09/2003 sur le sujet :
Etude ellipsométrique in-situ de couches minces d'oxydes magnétiques.
 

 

 

 

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